三維表面形貌測(cè)量儀具有高分辨率、大量程、低成本的特點(diǎn)。該三維表面形貌測(cè)量儀由基于直線相位衍射光柵干涉原理的微位移傳感器、X-Y二維工作臺(tái)、立柱、光電探測(cè)器以及信號(hào)處理電路、計(jì)算機(jī)及數(shù)據(jù)處理軟件組成。該輪廓儀工作臺(tái)的工作范圍為50 mm×50 mm,小步距為0.2μm，工作臺(tái)計(jì)量系統(tǒng)的分辨率為0.05μm，微位移傳感器理論垂直分辨率可達(dá)到0.12 nm，實(shí)際測(cè)量量程為2 mm，通過更換測(cè)桿可以達(dá)到6 mm的測(cè)量量程。
 

　　三維表面形貌測(cè)量儀的測(cè)量原理：
 

　　低相干白光同時(shí)照射樣品和參考平面，被樣品和參考平面反射的兩束白光發(fā)生干涉后由陣列式CMOS探測(cè)器接收，由于探測(cè)器直接與信號(hào)處理芯片(Smart Pixel技術(shù))連接，所以陣列上每個(gè)像素點(diǎn)的信號(hào)都在芯片中完成鎖相放大，背景信號(hào)補(bǔ)償和結(jié)果計(jì)算輸出，成像于計(jì)算機(jī)就實(shí)現(xiàn)了樣品表面的快速三維形貌測(cè)量。
 

三維表面形貌測(cè)量儀的突出特點(diǎn)：
 

　　1、全自動(dòng)：測(cè)量簡單且自動(dòng)化程度高，如自動(dòng)更換物鏡等。
 

　　2、高測(cè)量速度：InfiniteFocus的測(cè)量速度可以達(dá)到170萬點(diǎn)/秒。
 

　　3、模塊化和可擴(kuò)展性：新的功能可以很容易通過擴(kuò)展測(cè)量模式整合。
 

　　4、和：LED環(huán)形燈的設(shè)計(jì)，使表面測(cè)量的范圍幾乎不受限制。
 

　　5、高分辨，高可重復(fù)性和可溯源：即使對(duì)于復(fù)雜樣品表面，仍可以獲得高達(dá)10納米的垂直分辨率。
 

　　6、一款的3D光學(xué)測(cè)量儀：InfiniteFocus G5整合了微型三坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)和表面粗糙度測(cè)量系統(tǒng)所有的功能。